Mass flow meters en controllers

Meetprincipes

Vogtlin past drie bewezen meetprincipes toe, afhankelijk van de toepassing en vereiste prestaties:

MEMS

Het MEMS-meetprincipe is gebaseerd op thermische mass flow meting. Een micro-heater en twee temperatuursensoren meten het koelend effect van het passerende gas, wat direct gerelateerd is aan de massa van het gas.
MEMS-sensoren meten rechtstreeks in het medium, hebben geen bewegende delen en staan bekend om hun lange termijn stabiliteit, minimale drift, compacte bouwvorm en lage energiebehoefte. Vaak wordt een interne bypass gebruikt om verschillende flowbereiken te realiseren.

Differentiële druk

Bij het differentiële-drukprincipe wordt de drukval over een laminar flow element (LFE) gemeten. In combinatie met een druk- en temperatuursensor berekent de elektronica de werkelijke mass flow.
Dit principe maakt het mogelijk om naast mass flow ook volumetrische flow, druk, temperatuur en gasdichtheid te bepalen. Differentiële druk meters zijn zeer flexibel, nauwkeurig en geschikt voor lage én hoge flowbereiken, vaak met één luchtkalibratie voor meerdere gassen.

Capillair (thermisch)

Het capillaire meetprincipe is eveneens thermisch en werkt met een zeer dun metalen buisje waarin het gas stroomt. De temperatuurverandering tussen twee sensoren rond de capillair is een maat voor de mass flow.
Capillaire sensoren zijn bijzonder geschikt voor hoge drukken (tot ca. 700 bar), hebben uitsluitend metalen natte delen en zijn daardoor geschikt voor corrosieve gassen. Net als bij MEMS wordt vaak een bypass (LFE) toegepast om verschillende meetbereiken mogelijk te maken.

Meer weten over de meetprincipes van Vogtlin? Download hier de PDF met een uitgebreide technische toelichting.

Uitleg meetprincipes